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電力半導體器件工藝用高純水2016-04-16 08:19瀏覽數:882次
電力半導體器件工藝用高純水 1 、主題內容與通用范圍 本標準給出了電力半導體器件工藝用高純水(以下稱高純水)的級別、技術要求、測試方法和規則。 本標準適用于去離子處理后的高純水。 2 、引用標準:GB11446電子級水及其檢測方法。 3 、術語 3.1 電導率 Electrical conductivity 在規定溫度下,1cm3水溶液兩相對面之間測得的電阻值的倒數。電導率通常以μS/cm為單位。 純水的理論電導率為0.05482 μs/cm (25℃時)。 3.2 電阻率 Resistivity,電導率之倒數。 純水的理論電阻率為18.248 MΩ.cm (25℃時)。溫度升高時電阻率下降。 3.3 總溶解性固體 Total dissolved solids(TDS) 水中溶解物質的總含量,包括鈣鎂離子、膠體、懸浮顆粒物、蛋白質、病毒、細菌、微生物及尸體。TDS通常以mg/L或ppm為單位。 3.4 總硬度(DH值) 水總硬度是指水中Ca2+、Mg2+的總量。 硬度一般以德國標示法為準,計為DH。即以每升水含氧化鈣10mg為1DH。小于8DH為軟水、大于17DH為硬水。
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